پاورپوینت کامل با عنوان لیتوگرافی و انواع آن در 48 اسلاید - دانلود فایل

دانلود فایل لیتوگرافی و انواع آن

دانلود فایل پاورپوینت کامل با عنوان لیتوگرافی و انواع آن در 48 اسلاید

لیتوگرافی نوری یا طرح نگاری نوری (به انگلیسی: Photolithography)
در این فرایند پس از نشاندن یک لایه پلیمری حساس به نور (پلیمر واسط یا پلیمر مقاوم) روی سطح زیرلایه، پرتو نور همگن از یک ماسک عبور کرده و طرحی روی پلیمر ایجاد می کند. در فرایند طرح نگاری نوری پس از ایجاد طرح روی پلیمر واسط، نواحی نور دیده، با مقاومت در برابر خوردگی، واسطه انتقال طرح به لایه زیرین می شوند؛ این فرایند بسیار شبیه به مهرسازی با نور فرابنفش است؛ و در صنعت ساخت ادوات الکترونیک نقش مهمی بازی می کند.
از زمان اختراع طرح نگاری نوری توسط نایپسه تا کنون منابع انرژی متفاوتی برای این کار استفاده شده، که منجر به ایجاد خانواده های مختلف طرح نگاری شده است: فوتون فرابنفش، اشعه ایکس، الکترون. علت اصلی استفاده از طول موج های کوتاه، رسیدن به ظرافت بیشتر در ساخت ادوات الکترونیک است.
ماسک در طرح نگاری نوری[ویرایش] ماسک ماسک ها در اصل صفحات کوارتزی هستند که بر رویشان با کُروم الگویی همانند شکل۱ داده شده است. بدیهی است که ساخت یک قطعه با دقت بسیار بالای هندسی و دقیقاً مشابه ماسک امکان پذیر نیست. برای ساخت ماسک ها از باریکهٔ الکترونی با دقتی حدود کسری از میکرومتر استفاده می شود. این تکنیک لیتروگرافی الکترونی است که با جزئیات در اینجا مورد مطالعه قرار نمی گیرد. اگر دقت زیر میکرومتری در دسترس نباشد از روش های دیگری نظیر ژل، پرینت با کیفیت بالا روی ماده شفاف و... استفاده می شود.
فهرست مطالب:
اساس لیتوگرافی
لیتوگرافی در اصطلاح
کاربرد لیتوگرافی
عوامل تعیین کننده عملکرد لیتوگرافی
وضوح
ثبت کردن
خروجی
روش های لیتوگرافی
نوع اول
نوع دوم
اتاق تمیز
لیتوگرافی نوری
چاپ سایه ای
چاپ تماسی
چاپ نزدیک
ماسک
فوتورزیست و انوع آن
انتقال الگو
لیتوگرافی الکترونی
مزایای لیتوگرافی الکترونی
لیتوگرافی اشعه ایکس
لیتوگرافی یونی
مقایسه تکنیک های لیتوگرافی

لیتوگرافی

فوتورزیست

ماسک

اشعه ایکس

یونی

مقاله